隨著
半導體技術向3nm/2nm先進制程邁進,以及第三代半導體(GaN、SiC)和異質集成技術的快速發(fā)展,芯片性能與可靠性面臨前所未有的挑戰(zhàn)。超精密分析技術已成為突破工藝瓶頸、提升良率的核心手段——從原子級缺陷檢測、納米尺度材料表征,到封裝互連的微區(qū)性能分析,每一步都依賴高精度、高靈敏度的
分析儀器與前沿方法。
2025年3月19日14:00,
化工儀器網(wǎng)舉辦“第四屆半導體超精密分析技術及應用線上研討會”,將聚焦第三代半導體材料與器件的超精密分析技術,深入解析前沿分析方法、應用場景與國產(chǎn)化路徑,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新動能,助力加速技術迭代與產(chǎn)業(yè)升級。
會議日程
具體以現(xiàn)場為準
講師介紹(排名不分先后)
丁傳凡,浙江省先進質譜技術與分子檢測重點實驗室主任
教授,博士生導師。浙江省先進質譜技術與分子檢測重點實驗室主任,寧波大學材料科學與化學工程學院特聘院長,質譜技術與應用研究院副院長。主要研究方向為質譜儀器和方法及其在臨床醫(yī)學,生命科學,化學和環(huán)境等方面的應用。在國內(nèi)外一流學術雜志上發(fā)表SCI/EI論文230余篇;獲授權中國、美國、日本、德國、英國發(fā)明專利110余項。已轉讓國際和中國發(fā)明專利20余項,轉讓資金1100余萬。先后主持國家自然科學基金重大科學儀器項目,重點項目,面上項目,科技部重大儀器項目、科技支撐計劃,國家科技攻關重大項目等。
周維虎,中國科學院微電子研究所二級研究員
擔任國家科技獎評審專家、中國機械工業(yè)科學技術獎評審專家、國家02重大專項光學曝光系統(tǒng)總體組專家、科技部十三五先進制造領域重大科技任務實施方案編寫組專家/總體組專家、科技部十三五科學儀器設備開發(fā)重大科技任務實施方案編寫組專家/總體組成員、國家02重大專項項目驗收專家、863項目驗收專家、973項目評審專家、科技部科學儀器重大專項評審專家(技術專家、監(jiān)理、中期評估專家組組長)、科技部國際合作評審專家、自然基金評審專家(重大科學儀器專項、優(yōu)青、面上、青年基金)、中國博士后科學基金評審專家、省市級自然基金評審專家(北京市、上海市、天津市、江蘇省、浙江省自然基金)、省市級科技計劃評審專家(北京市、上海市、江蘇省、蘇州市、常熟市、張家港市等); 全國 光電測量標準化技術委員會秘書長、中國計量測試學會計量儀器專業(yè)委員會副主任委員、中國儀器儀表學會光譜儀器專業(yè)委員會副主任委員、全國幾何量長度計量技術委員會特聘委員、中國儀器儀表學會精密機械分會理事會理事、中國儀器儀表學會光機電技術與系統(tǒng)集成分會委員、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會專家委員、全國光輻射安全和激光設備標準化技術委員會委員、全國產(chǎn)品尺寸和幾何技術規(guī)范標準化技術委員會委員、中國計量測試學會微納測量技術委員會委員、中科院計算光學重點實驗室學術委員會委員、北京市光電信息與儀器工程研究中心學術委員會委員、中關村光電產(chǎn)業(yè)協(xié)會理事/專家委員、中國光學工程學會委員、中國光學學會光電技術專業(yè)委員會委員;目前主要研究方向為集成電路超高精度光學檢測、激光跟蹤多自由度測量、飛秒激光頻率梳高性能測量、視覺三維幾何量測量及缺陷檢測等。先后參與國家02重大專項、國家自然基金委重大儀器專項發(fā)展戰(zhàn)略、科技部科學儀器重大科技任務“十三五”實施方案、科技部先進制造重大科技任務“十三五”實施方案、中科院有關科技計劃等論證與編寫工作。
方偉宇,珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司資深應用工程師
畢業(yè)于東華大學,獲得高分子材料碩士學位,期間主要從事特種纖維的聚合、紡絲和改性研究。現(xiàn)任珀金埃爾默技術支持,主要負責分子光譜的應用。
王海銀,徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司應用工程師
本碩畢業(yè)于英國帝國理工學院,納米材料碩士,現(xiàn)為徠卡顯微系統(tǒng)工業(yè)顯微鏡應用工程師,負責工業(yè)顯微鏡相關的技術支持工作。熟悉半導體光刻技術,在微電子、材料科學及其他先進制造領域有豐富的應用經(jīng)驗。
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