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透射電子顯微鏡 H-9500

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透射電子顯微鏡 H-9500,為了滿足這種需求,日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過(guò)的各種優(yōu)質(zhì)性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的*功能,并采用了新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

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透射電子顯微鏡 H-9500

在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,*的工具。
 

透射電子顯微鏡 H-9500特色

用戶友好型的操作系統(tǒng)

  • 和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計(jì)
  • 快速的樣品分析,1分鐘換樣,5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
  • 高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡

高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡

  • 點(diǎn)分辨率為0.18 nm,晶格分辨率為0.1 nm
  • 穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測(cè)角臺(tái)
  • 性能優(yōu)異,可靠性高

性能優(yōu)異,可靠性高

  • 得到市場(chǎng)驗(yàn)證的10級(jí)加速器電子槍設(shè)計(jì)
  • 阻抗式高壓電纜設(shè)計(jì)
  • 高檔可選附件

高檔可選附件

  • 通用樣品桿,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
  • 可為原子分辨率的動(dòng)態(tài)研究提供加熱,冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規(guī)格

項(xiàng)目說(shuō)明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點(diǎn)分辨率)
加速電壓300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率連續(xù)放大模式1,000~1,500,000×
選區(qū)模式4,000~500,000×
低倍模式200~500×
電子槍燈絲LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換自動(dòng)升降式電子槍
高壓電纜阻抗電纜
照射系統(tǒng)透鏡四級(jí)透鏡
聚光鏡光闌4孔可變
探針尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4級(jí))
納米束模式:1 - 10 nm(4級(jí))
電子束傾斜±3°
成像系統(tǒng)透鏡五級(jí)透鏡
聚焦圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償
聚焦優(yōu)化
物鏡光闌4孔可變光闌
選區(qū)光闌4孔可變光闌
電子衍射 選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會(huì)聚束電子衍射
相機(jī)長(zhǎng)度250 - 3,000 mm
樣品室樣品臺(tái)5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái)
樣品尺寸3mmΦ
樣品位置追蹤X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過(guò)CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品位置顯示自動(dòng)驅(qū)動(dòng),自動(dòng)跟蹤
樣品傾斜α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺(tái)*2)
防污染冷阱
烘烤功能中溫烘烤功能
觀察室熒光屏主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目鏡7.5×
照相室區(qū)域選擇整張照相/半張曝光
膠片25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面 操作系統(tǒng):Windows XP®
顯示器19英寸顯示器
功能數(shù)據(jù)庫(kù),測(cè)量,圖像處理
數(shù)碼CCD 相機(jī)*3相機(jī)耦合透鏡耦合
有效像素1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率12位
真空系統(tǒng)電子槍離子泵:60 L/s
鏡筒渦輪分子泵:260 L/s
觀察室/照相室擴(kuò)散泵:280 L/s
前級(jí)泵:135 L/min × 3臺(tái)

*1:放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)

*2:可選件

*3:本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)

以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的承諾

 

似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

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