（比如球磨儀）能夠快速簡單地測定薄膜涂層的厚度。
我們是測量，別人是估計
安東帕是一家能夠提供具有真實力傳感器的高分辨率納米
壓痕和納米劃痕測試儀的公司。這意味著載荷是直接用一個傳感
器連續(xù)測量，而不是通過致動器提供的數(shù)據(jù)來估算。
儀器組合
采用設(shè)計的安東帕的機械表面測試儀，以緊湊的模塊提供精
確高效的測試解決方案。事實上，可以在一個測試平臺上輕松組合
不同的模塊（劃痕、壓痕、微摩擦）。根據(jù)您的要求和應(yīng)用，可以在一
個平臺上組合不同的測試模塊，也可以使用單獨的測試方法和獨
立設(shè)備 - 按照您的需要來選。
應(yīng)用和行業(yè)
不論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都可實現(xiàn)較高的生產(chǎn)效率和處理量：
測試的材料來自各行各業(yè)，例如切削工具、汽車、電子器件、生物醫(yī)
學(xué)、半導(dǎo)體、聚合物、光學(xué)部件、民用核能、MEMS 以及手表業(yè)。
這些儀器還可用于各種研究領(lǐng)域：
- 粘彈性
- 應(yīng)力 - 應(yīng)變曲線
- 應(yīng)變硬化
- 斷裂韌性
- 表面成分掃描
- 深度曲線
測量參數(shù)和標(biāo)準(zhǔn)
測量原理
安東帕劃痕測試儀（先前屬于瑞士 CSM 公司）非常適合測量薄膜和涂層
的表面機械特性（如結(jié)合力、斷裂和變形）。
劃痕測試儀能夠通過各種互補的方法檢定膜 - 基體的性能，并量化摩擦力
和附著強度等參數(shù)，已成為科學(xué)研發(fā)和質(zhì)量控制方面的工具。劃
痕測試儀技術(shù)可以在待測樣品上用金剛石劃針形成可控的劃痕。
劃針以恒定、遞增或漸進的載荷劃過涂層表面。達到一定的載荷時，涂層會
開始脫落。通過切向力、穿透深度和聲發(fā)射傳感器以及內(nèi)置光學(xué)顯微鏡觀
察，可以非常精確地檢測臨界載荷。通過使用不同的傳感器（聲發(fā)射、劃痕
深度、摩擦力）和視頻顯微鏡觀察獲得臨界載荷數(shù)據(jù)來量化不同的膜 - 基
材組合的結(jié)合性能。
壓痕測試：特點
廣泛的測試可能性：硬度、彈性模量、粘彈性、蠕變
和應(yīng)力 - 應(yīng)變曲線
載荷和穿透深度范圍廣泛，使您可以測量各種材料的表面機械特
性軟硬材料以及厚薄涂層都可以測試。硬度、彈性模量以及諸如粘
彈性、蠕變和應(yīng)力-應(yīng)變曲線等其他特性可以通過單次測量獲得。
采用的表面參比技術(shù)，具有的穩(wěn)定性
表面參比技術(shù)保護針尖不受碰撞，具有很高的熱穩(wěn)定性和高框架
剛度。當(dāng)壓頭測試材料時，參比針尖探測表面位置。因此，我們的儀
器不需要任何熱漂移校正。
“快速點陣”壓痕模式可在幾分鐘內(nèi)獲得高度精確
的結(jié)果
安東帕的壓痕測試儀每小時測量高達 600 次，可實現(xiàn)高樣品通
量，并提供完整的儀器化壓痕曲線。
準(zhǔn)確的電動工作臺可精確定位
工作臺以 1μm 的精度向每個方向移動樣品，定位分辨率
0.1μm。只需點擊一下，樣品就會從顯微鏡移動到壓痕測試位置。
還提供自動化矩陣和多重采樣測試。
多物鏡視頻顯微鏡可以清晰顯示樣品
通過高質(zhì)量的多物鏡視頻顯微鏡可觀察壓痕測量前后的表面形
貌。轉(zhuǎn)塔最多可容納 4 個物鏡，放大倍率4000倍。 在顯微鏡下定義視覺矩陣，以對感興趣的區(qū)域進行壓痕測量。
應(yīng)用和行業(yè)
技術(shù)參數(shù)
