主要特點1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數(shù)

主要特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間
7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。
8、激光干涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。
9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
注意事項
1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。
3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。
5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。