掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應(yīng)用于納米材料、高分子復(fù)合材料、生物材料、能源類鋰電池材料/太陽(yáng)能材料、礦物材料、冶金粉末、金屬材料、合金材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、考古文物等。近年來(lái)，新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復(fù)合材料等的研究作為科學(xué)技術(shù)的中堅(jiān)技術(shù)，在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察和評(píng)價(jià)，但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。還要求能在低加速電壓下對(duì)表面細(xì)微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長(zhǎng)期的研究過(guò)程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。