產(chǎn)品特點：

 支持最多20路實時測量晶圓溫度；

 溫度均勻性實時曲線圖和數(shù)值顯示；

 采集數(shù)據(jù)Excel表格導(dǎo)出，并生成報表；

 晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準報告；

 可快速更換TC-wafer及自定義功能;

 大屏高分辨率顯示；

 數(shù)據(jù)最多采集10次/秒；

 65瓦Type-C快速充電；

 內(nèi)置大容量電池，使用可達4小時；

 10000條數(shù)據(jù)存儲量；

 支持多種傳輸方式，如U盤、藍牙、無線網(wǎng)絡(luò)；

 便攜一體化設(shè)計；

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